9月25日—27日,2023北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在北京經開區舉辦,通過高規格、系列化的學術會議與博覽會有機聯動,為中國集成電路產業新一輪的創新發展集聚智慧和力量。作為與集成電路生產息息相關的超純水領域科技企業,高頻科技受邀出席,展出行業先進的超純水工藝與循環再生解決方案,以及在材料研發與生產、水系統的運維服務等方面的創新成果,從而對接產業的多元化需求,與眾企業一起推動半導體行業增長新態勢。
超純水在半導體生態地位日益提升,本土企業爭創“芯”標準
本次展會上,高頻科技在內的超純水企業備受關注,這不僅展示了企業的強大實力,也側面反映了超純水在半導體產業鏈中的地位不斷提升。在半導體生產中,超純水被廣泛應用于制造過程中的清洗、蝕刻、光刻、摻雜等多個環節,超純水的品質與半導體的良品率直接相關。因此,半導體企業十分重視選擇超純水供應商。
不過,由于超純水制造工藝的復雜性和高難度,本土企業在這一領域起步較晚,面臨著較大的技術挑戰。首先是高純度要求。半導體超純水技術需要達到極高的純度要求,通常要求水中雜質濃度低至ppb(億分之一)甚至ppt(萬億分之一)級別,這對水處理設備和工藝提出了極高的要求。
其次是高穩定性要求。半導體生產過程對水質的穩定性要求非常高,要求水中的各種離子、微生物和有機物的濃度保持穩定,不能有劇烈的波動。這對水處理設備和工藝的控制能力提出了挑戰,需要采用先進的自動控制系統和在線監測技術來實現水質的穩定控制。
半導體超純水生產還需要考慮資源利用率以及成本節省等問題。這是因為半導體生產需要耗費大量的水資源,如何提高資源利用率、減少水資源的消耗,同時降低廢水的排放,對于半導體超純水技術來說是一個重要的挑戰。
高頻科技先進超純水工藝,推動產業高標準發展
近年來以高頻科技為代表的超純水企業穩步發展,不斷進行研發突破,努力爭創行業標桿。在超純水制備與回收、材料的研發與生產、水系統的運維等方面取得令人矚目成績,積極推動著我國半導體產業躍升發展。
超純水制備方面,高頻科技聚焦超純水國際化標準,通過自主研發和創新,接連突破ppb級別的TOC、溶解氧去除,以及ppt級別的硼、硅等特殊物質的去除方面等行業難題,目前已掌握了先進半導體制程所需的超純水全部核心工藝。高頻科技研發的超純水系統,涉及超過18項專業處理工藝環節,8次增壓提升,以行業性的應用創新成果,使產水水質接近絕對純度,電導率無限接近18.24MΩ?厘米的理論極限值,其純度可達99.9999999999%(ppt 級別——萬億分之一),實現了“純度”護航半導體良率,滿足半導體制程升級過程中對超純水質量不斷提高的需求,推動集成電路行業向高端化發展。
為了幫助企業提升水資源利用率,提高用水效率和效益,高頻科技不斷提升半導體回用水系統及廢水收集處理系統的工藝技術,打造了電子級水系統的循環再生系統,實現水資源及其他相關資源的循環再生。目前高頻科技已經研發交付了超過30種可選回用水工藝技術,已實現水制程回收率75%-90%,可有效幫助企業提升水效,節約大量的水資源成本支出,釋放出降本增效潛能。同時,還可通過節能減排和保障微量元素回收利用來讓真正的綠色廠務方案落地,滿足企業可持續發展需求。
在超純水材料研發和應用方面,高頻科技也已經深入布局,并取得了重要成果。本次展會上,高頻科技展示了GOALPURE反滲透膜元件、樹脂系列產品等半導體水系統關鍵工藝產品及相關化學藥劑,這些都是企業長期研發創新的成果。這些材料可以幫助持續優化并賦能先進的超純水與循環再生解決方案,進而推動半導體產業高質量發展。
在半導體水系統運維方面,高頻科技通過產品和服務創新為行業帶來新價值。高頻科技依托公司大批自有優秀半導體水系統專家的資深經驗,創立標準化運維專家模型,為半導體工廠量身定制一體化運維服務體系。該體系在保證設備的穩定運行,降低能耗和成本,提高水質和環境保護,延長設備壽命,提高安全性等方面都具有重要作用。這些價值直接影響到半導體制造過程的效率和產品質量,對企業的競爭力和可持續發展具有重要意義。值得一提的是,此體系將逐步實現專家數據化,通過數字化運維讓客戶感到更加省事和舒心。
作為我國華北地區規模最大的集學術會議與博覽會為一體的集成電路大會,2023北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會為半導體企業提供了展示自身技術和產品的機會,促進了產學研合作,推動了半導體產業鏈的協同發展。高頻科技在內的半導體產業鏈企業,也積極應對產業發展路上的機遇和挑戰,通過協同合作,尋找產業發展的最佳路線,推動半導體產業向高標準、高效能、高質量方向發展。
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