近年來,隨著信息技術的快速發(fā)展,半導體產業(yè)成為了國家經濟發(fā)展的重要支柱之一。然而,要想在全球半導體市場中獲得持續(xù)性競爭優(yōu)勢,我國需要建立完善的半導體產業(yè)生態(tài)體系,加強產業(yè)鏈供應鏈協同,提升整體競爭力。
超純水作為半導體產業(yè)鏈的重要一環(huán),在行業(yè)中發(fā)揮著不可忽視的作用。以高頻科技為代表的本土超純水企業(yè),一方面不斷加強技術研究和原始創(chuàng)新,實現關鍵技術突破,以創(chuàng)新驅動產業(yè)高質量發(fā)展。另一方面加強全球產業(yè)鏈供應鏈的協作,提升資源整合能力,引領本土供應鏈應對產業(yè)變革。
超純水“守護”清洗工序,是半導體產業(yè)鏈重要一環(huán)
對于半導體產業(yè)而言,高質量的超純水是確保高效生產的基石之一。芯片清洗過程離不開超純水,超純水清洗可以讓芯片生產過程中的微量玷污,如灰塵、油脂、金屬離子等得到去除,從而保證芯片表面的純凈度和性能,提升芯片生產的良品率。對尖端圓晶廠而言,1%良品率的提升意味著上億美元的凈利潤。而如果水質不達標,不僅難以滿足芯片清洗需求,水中的雜質還可能會在芯片表面殘留而影響芯片的電子性能,從而降低芯片的質量和良率。
隨著器件尺寸縮小、結構復雜化,芯片對雜質敏感度提升,清洗工序也愈加精細化。90nm 的芯片清洗工藝約 90 道,20nm 的清洗工藝則達到 215 道。隨著芯片進入 16nm 以及 7nm 以下,清洗工藝的道數將會加速增長。伴隨芯片邁向先進制程,對清洗所用超純水的指標提高,背后的制備工藝也越發(fā)復雜,本土超純水企業(yè)的工藝能力將面臨考驗。
高頻科技以先進超純水工藝,助推半導體產業(yè)整體競爭力提升
通過建立完善的超純水供應體系,可以提高半導體制造的效率和質量,降低生產成本,增強國內半導體產業(yè)的競爭力。作為立足于超純工藝能力的工業(yè)級技術服務商,高頻科技一直致力于為半導體高端制造等行業(yè)客戶,提供領先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備,協助半導體企業(yè)提升競爭力和可持續(xù)發(fā)展能力。
高頻科技基于多年研發(fā)創(chuàng)新和半導體水系統(tǒng)經驗積累,目前已經完全掌握了先進半導體制程需要使用的超純水生產的全部核心工藝,特別是在PPB級別的TOC,溶解氧去除,以及PPT級別的硼、硅等特殊物質的去除方面有自己的成熟經驗,所產超純水電導率無限接近 18.24MΩ 的理論極限值,其純度可達 99.9999999999%(PPT 級別——萬億分之一),為半導體良率和生產效率帶去保障,并不斷滿足行業(yè)日趨提升的用水需求。
此外,為滿足半導體企業(yè)提升工業(yè)用水效能,降本挖潛增效的需求,高頻科技依托自有優(yōu)秀半導體水系統(tǒng)專家,在確保超純水水質純度穩(wěn)定達標的基礎之上,研發(fā)交付了超過30種可選回用水工藝技術,包括砂濾及碳濾器反洗水回用、砂濾及碳濾器正沖水回用、反滲透濃縮水回用、EDI和UF濃縮水回用、反滲透沖洗水回用、冷卻塔排放水回用、低濃度有機廢水回用等,已實現水制程回收率達75%-90%,助力企業(yè)降本增效,走上綠色高質量發(fā)展之路。
整個半導體超純水系統(tǒng)的穩(wěn)定有效的運行,還涉及到容器與管道接觸材料,設備維護和日常管理,自動化控制等環(huán)節(jié)。為此,高頻科技通過合理的終端材料和規(guī)格選擇、系統(tǒng)管路設計的優(yōu)化,以及應用先進的超純水裝置控制系統(tǒng),確保超純水系統(tǒng)和水質的穩(wěn)定,為半導體芯片生產保駕護航。同時研發(fā)創(chuàng)立標準化運維服務專家模型,為半導體企業(yè)定制包括常規(guī)周期巡檢、可預見式養(yǎng)護、應急故障處理等在內的一體化專家運維服務體系,通過數字化運維既能讓客戶感到省事和舒心,又能憑借科學管理實現降本增效。
縱觀產業(yè)歷史,半導體的競爭從來不是企業(yè)的單打獨斗,而是要更加深入地融入到產業(yè)鏈供應鏈中。高頻科技等本土超純水企業(yè),不斷苦練“內功”,深耕超純工藝技術的研發(fā)與創(chuàng)新,同時通過經驗分享和優(yōu)勢互補,提升產業(yè)合作水平,護航“國芯”發(fā)展,助力半導體產業(yè)迎來更廣闊發(fā)展空間。
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