挖貝網(wǎng)?3月8日消息,上海新陽(300236)訂購(gòu)的ASML-1400光刻機(jī)今日進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司場(chǎng)地,后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。
上海新陽表示,公司采購(gòu)的 ASML 干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付,對(duì)加快 193nm ArF 干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響,有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競(jìng)爭(zhēng)力,加快落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略,提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。
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