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作為全球規模最大、最具影響力的國際半導體專業展,SEMICON China 2023于6月29日—7月1日在上海新國際博覽中心成功舉辦。本次大會以“跨界全球·心芯相聯”為主題,集中展示了半導體行業及應用的最新產品與技術,以發展的眼光挖掘未來半導體市場的新需求,推動行業攜手前行。作為半導體產業鏈上極為重要的一環,高頻科技受邀出席,展出多項超純水領域先進技術與創新產品,分享打造半導體工廠綠色水系統的觀點和措施,助推半導體產業向前發展。

超純水工藝發展,驅動半導體工業進步

超純水是高質量芯片制造的重要保障,與半導體生產良品率、生產成本等息息相關。正因如此,半導體廠商十分注重超純水生產企業的選擇,具有先進工藝及水資源管理能力的超純水企業,往往能優先獲得廠商青睞。

眾所周知,在芯片制造過程中,各種雜質和離子會附著在芯片表面,因此清洗環節貫穿于芯片制造全過程。芯片清洗過程離不開超純水,而一旦清洗用水中含有微量雜質,這些雜質可能會在芯片表面留下痕跡或引起電子元件的損壞,從而降低芯片的質量和良品率。數據上1%的良品率變化,對于一個高產能工廠將意味著上億的利潤損失,甚至讓整座晶圓廠停擺。可見,選擇符合芯片生產要求的高品質超純水,是提升良品率,確保穩定性生產的先決條件。而伴隨半導體元件尺寸的縮小和精細度的提升,對超純水質量的要求越來越高,相應的超純水工藝也日趨復雜。

此外,超純水工藝還是半導體廠商降本增效的“密碼”。半導體是用水密集型行業,吸收了27%的工業用水,不過行業一直存在水資源回收和循環利用率不高的問題,導致了水資源的浪費,這不僅增加了半導體制造的成本,還對水資源的可持續利用造成了一定的壓力。另外,隨著芯片生產的先進制程技術越進步,清洗步驟越多,用水量會呈指數級提升。因此,提升半導體用水效能,是半導體企業降低生產成本,提升競爭力和實現可持續發展的關鍵突破口。越來越多半導體企業開始探索通過提升水資源利用率來降低生產成本,保障可持續發展。

高頻科技先進超純水工藝,助力半導體高效可持續發展

作為領先的本土超純水工藝技術企業,高頻科技專注于芯片、顯示等半導體高端制造業,為半導體高端制造等行業客戶提供領先的超純水與循環再生解決方案及裝備,助力半導體企業更好地應對良品率、技術迭代以及可持續發展的挑戰。

在超純水水質指標提升方面,高頻科技取得重要成果,超純水雜質濃度解決方案有了突破進展,特別是在PPB級別的TOC、溶解氧去除,以及PPT級別的硼、硅等特殊物質的去除方面。通過過硬的技術把控力和工程實踐經驗,針對有機物(TOC)、顆粒物、細菌、金屬和陰離子等影響良率的主要雜質,已經實現領先于行業的技術成果,產水水質接近絕對純度,電導率無限接近18.24MΩ?厘米的理論極限值,其純度可達99.9999999999%,可以有效地避免微量雜質對芯片的影響,保證芯片的質量和穩定性,從而提升良品率,實現精益生產。

此外,基于自身先進工藝和豐富的經驗,高頻科技率先將綠色工廠理念植入半導體水系統,為客戶提供領先的超純水與循環再生解決方案及裝備,協助半導體企業降本增效。高頻科技研發交付了超過30種可選回用水工藝技術,實現水制程回收率達75%-90%,讓每一滴超純水都可以循環再利用,助力企業提升工業用水效能,為降本增效和高質量可持續發展奠定基礎。

依托公司大批自有優秀半導體水系統專家的資深經驗,高頻科技創立標準化運維專家模型,為半導體工廠量身定制一體化運維服務體系,滿足客戶全周期運維需求,實現規范管理、降本增效、省事舒心。

當前全球正在進行半導體產業鏈的第三次轉移,中國大陸成為半導體產業第三次轉移的核心地區,這將帶動產業發展方向轉變和分工細化專業化,進而推動行業的革新和發展。高頻科技將不斷通過技術創新提升超純水工藝成熟度,為半導體廠商提供高運營率、高良率的全方位解決方案,進而推動半導體產業鏈發展,一起“鏈”向未來,共創半導體產業鏈新局面。