2、產業化進程緩慢
十二五期間，盡管在國家重大專項的支持下，一些關鍵設備進入了大生產線，并經過了驗收，但在新建的生產線上，使用單位有較大的風險，在與進口設備的競爭中，國產設備很難擠得上去。特別是對大規模集成電路芯片制造設備國產化缺乏信心，使已經在生產線上驗收的國產設備產業化進程艱難。目前，一些設備制造單位，已經將集成電路設備成果應用到風險相對低的LED等其它半導體器件領域。
3、缺乏領軍的高技術人才
一些技術難度大的關鍵設備，由于缺乏領軍的高技術人才，久攻不下，同時也影響了集成電路生產線設備國產化的推廣。
(三)我國集成電路裝備制造業發展設想
1、對國家投資的集成電路建設工程項目，要提出集成電路生產線設備國產化的要求，推廣已經在集成電路大生產線上驗收過的國產設備。
2、依托國家科技專項集成電路關鍵裝備科技項目，對承擔項目的單位設備產業化目標要提出更高的要求，進一步推進集成電路產業化的進程。
3、鼓勵和支持積極使用國產集成電路設備的集成電路生產企業，對使用首臺(套)集成電路關鍵設備給予優惠政策，以減少承擔的風險。
